WVCP6000 수증기 Cryopump 극저온 냉동 시스템
제품 설명
2011년에 설립된 Guangzhou Xieyi Automation Technology Co., Ltd.는 초저온 수증기 포획 펌프 및 기타 제품에 대한 연구 개발, 생산, 기술 자문 및 서비스에 종사하는 중국 남부의 독특한 첨단 기술 기업입니다. 초저온 장비.
XIEYI WVCP 극저온 냉각기는 550와트 ~ 6,000와트의 냉각을 제공하는 폐쇄 루프 극저온 냉동 시스템입니다.이러한 극저온 냉각기는 Meissner 코일(극저온 코일)과 같은 차가운 표면에 동결시켜 수증기 및 기타 응축성 물질을 포획하는 데 사용할 수 있습니다.WVCP 극저온 냉각기는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 정전기 척과 같은 물체를 냉각하는 데에도 사용됩니다.
기술적인 매개변수
모델 | WVCP6000-SH | WVCP6000-DH |
최대냉각능력(W) | 6000 | 6000 |
관형 콜드 트랩의 이론상 최대 펌프 속도(L/S) | 588000 | 588000 |
플레이트 콜드 트랩의 이론 최대 속도(L/S) | 882000 | 882000 |
최종 진공(mbar) | 2*10-8 | 2*10-8 |
최대 콜드 트랩 면적(분)의 제상 시간 | <5 | <5 |
제상온도 조절범위(℃) | -20~30 | -20~30 |
압력 제어 모드 | 디지털 센서+기계식 스위치 | 디지털 센서+기계식 스위치 |
빠른 복원 균형 압력 기능(QRBP) | 예 | 예 |
오일 차단 방지 기능(OBP) | 예 | 예 |
4G 원격 제어 | 예 | 예 |
콜드 미디어 속성 | 친환경 | 친환경 |
관형 콜드 트랩의 최대 표면적(㎡) | 4 | 4 |
플레이트 콜드 트랩의 최대 표면적(㎡) | 6 | 6 |
싱글 콜드트랩 사양(㎡) | φ16mm*80m | / |
더블 콜드트랩 사양(㎡) | / | 2*φ16mm*40m |
가스 인터페이스 | 12.7 동용접(표준) | 12.7 동용접(표준) |
ParkerCPI/VCR(옵션) | ParkerCPI/VCR(옵션) | |
냉각수 유량(L/Min at 24℃) | 48 | 48 |
냉각수 경보온도(℃) | 38 | 38 |
냉각탑 | 예 | 예 |
냉각수 커넥터(L/S) | G1” | G1” |
최대부하전력(kW) | 25.3 | 25.3 |
압축기 공칭 전력(HP) | 20 | 20 |
전원(50HZ) | 380-400V AC 3P(높이) | 380-400V AC 3P(높이) |
200-230V AC 3P(대) | 200-230V AC 3P(대) | |
치수(MM) | 935(엘)*873(디)*1809(높이) | 1235(엘)*873(디)*1809(높이) |
무게(KG) | 655 | 655 |
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