진공 코팅 반도체의 용도

진공 코팅은 반도체 산업에서 소모품 수명을 연장하고 챔버 가동 중지 시간을 줄입니다.코팅 재료는 용융 실리카에서 이트리아 안정화 지르코니아에 이르기까지 다양하며 코팅은 광학적으로 투명하고 화학적으로 불활성입니다.이 모든 것은 유지보수 주기를 동기화하여 소유 비용을 낮추는 것을 의미합니다.

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게시 시간: 2022년 6월 16일